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中央精機CHUO 線性馬達 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

中央精機CHUO 線性馬達 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

簡要描述:中央精機CHUO 線性馬達 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15
應用
電子、半導體制造裝置(EB裝置等)
新一代半導體設備的研究開發
其他納米科技研究

訪問次數:1365

所屬分類:測量儀.檢測器

更新時間:2021-06-21

廠商性質:代理商

詳情介紹
產地類別進口

主要特征
材料本身有的高硬度、耐磨性、耐酸性、耐熱性、低熱膨脹系數等特性,能適合在特殊環境下使用保證高精度、可靠性。
Al2O3的復合材料能在真空、非磁性條件下使用
導軌部件使用Si3N4材料制成,具有很好的平滑性能,可以省去使用潤滑油,避免了污染真空環境,影響真空度
適用zui高真空度10-5Pa的環境

應用
電子、半導體制造裝置(EB裝置等)
新一代半導體設備的研究開發
其他納米科技研究

 
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線性馬達規格

參數AME-15AME-25AMH-13AMH-15AMH-25
移動量0~15mm0~25mm0~13mm0~15mm0~25mm
分辨率0.0001mm-
位置精度0.01mm-
zui大速度0.07mm/min1mm/min
推力98N(10kgf)-
工作溫度20±10℃
限位傳感器原點、zui大、zui小-
線長2m
重量0.29Kg0.3Kg0.13Kg0.14Kg

中央精機CHUO 線性馬達 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

中央精機CHUO 線性馬達 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15


 



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